Vacuum-sealed and gas-filled micromachined devices

Författare
Tekniska högskolan i Stockholm Thierry Corman
(Thierry Corman., Härtill 8 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk.)
Genre
theses, Avhandlingar
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Tekniska högsk., KTH högskoletr. 1999 Sverige, Stockholm, Stockholm 80 sidor. ill. 24 cm